SATDI-IC: Microscopio electrónico de barrido de emisión de campo, FESEM (Sigma 300 VP)

Aplicaciones
El Microscopio Electrónico de Barrido modelo SIGMA 300 VP de ZEISS de emisión de campo de cátodo caliente Schottky. Puede trabajar con tensiones entre 0,02 y 30 kV y tiene una resolución de 1.0 nm a 15 kV y 1.6 nm a 1 kV. La corriente de sonda varía entre 3 pA y 20 nA. El equipo cuenta con los típicos detectores de electrones secundarios (SE) y electrones retrodispersados (BSE), de rayos X (EDX), y además cuenta con un detector inLens de electrones secundarios y uno de electrones transmitidos (STEM). Permite trabajar tanto en alto vacío (HV) como con presión variable (VP, entre 10 y 133 Pa), para esto último incluye otro detector de electrones secundarios (VPSE). A su vez existe la posibilidad de realizar microscopía correlativa (CLEM) con microscopios ópticos/confocales. Dispone de una platina motorizada de 5 ejes (x, y, z, inclinación y rotación).

Localización
Campus de Elche

imagen del microscopio electrónico de barrido